电感电路、元器件等方片基材曝光应用
● 双工位高效率曝光，生产节拍可达9秒+曝光时间。
● LED光源寿命长，光源均匀稳定。
●自研高准直平行光光源，线宽分辨率3µm。
| 性能名称 | 技术指标 |
| 产品尺寸 | ≤300*300mm |
| 加工尺寸 | 6/8/12英寸 |
| 产品厚度 | 0.05mm-5mm |
| 曝光光源 | UVLED光源 |
| 波长 | 365nm+405nm，波长可选 |
| 功率照度 | >34mW/cm²，可定制 |
| 预定位精度 | ±100µm |
| 分辨率L/S | 3µm |
| 线宽精度 | ±10% |
| 对准精度 | ±0.8µm |
| 产能UPH | > 240 (曝光时间=5S) |
| 光照均匀性 | ＞97%，公式{ 1-（max-min/max+min）}×100% |
立即咨询
扫码关注我们
首页
