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陶瓷基板光刻机
产品描述
产品参数
功能概述:

适用于陶瓷基板 白油阻焊、黑油阻焊、绿油阻焊、线路制程等

特点优势:

●转盘工位布局高效率曝光,生产节拍可达9秒+曝光时间。

● 产品兼容性高,全面兼容线路、阻焊曝光。

● LED光源寿命长,光源均匀稳定。

● 自研高准直平行光源,线宽可达5µm。

● 收放料堆叠设计,可实现全自动无人值守运行。

 

性能名称 技术指标
产品尺寸 ≤200*200mm
曝光光源 LED平行光源
光源波长 365nm+385nm+405nm,波长可选
曝光照度 130mW/cm²
分辨率L/S 5µm
线宽精度 ±10%
对准精度 ±5µm
光照均匀性 >95%,公式{ 1-(max-min/max+min)}×100%

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