适用于陶瓷基板 白油阻焊、黑油阻焊、绿油阻焊、线路制程等
●转盘工位布局高效率曝光,生产节拍可达9秒+曝光时间。
● 产品兼容性高,全面兼容线路、阻焊曝光。
● LED光源寿命长,光源均匀稳定。
● 自研高准直平行光源,线宽可达5µm。
● 收放料堆叠设计,可实现全自动无人值守运行。
性能名称 | 技术指标 |
产品尺寸 | ≤200*200mm |
曝光光源 | LED平行光源 |
光源波长 | 365nm+385nm+405nm,波长可选 |
曝光照度 | 130mW/cm² |
分辨率L/S | 5µm |
线宽精度 | ±10% |
对准精度 | ±5µm |
光照均匀性 | >95%,公式{ 1-(max-min/max+min)}×100% |
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