●产品兼容性高，兼容8英寸及以下多种产品；
●电驱动掩膜载台，自动对准，兼容10英寸及以下多种尺寸掩膜版；
●长寿命LED光源，光源均匀稳定，可定制多种波段光源组合；
●电驱动产品载台，使用自主知识产权精密调平载台；
●曝光方式可兼容：真空接触式、软接触式、硬接触式、间隙曝光；
●自动视觉精对准系统，兼容各类型对准标记。
| 性能名称 | 技术指标 |
| 产品尺寸 | ≤200mm*200mm |
| 加工尺寸 | 4/6/8英寸 |
| 曝光光源 | UVLED光源 |
| 曝光波长 | 365nm/385nm/405nm/436nm，波长可选 |
| 曝光照度 | ＞40mW/cm²@365nm，其余波段可定制 |
| 分辨率L/S |
间隙曝光2.5µm，软接触2µm 硬接触1µm，真空接触0.8µm |
| 线宽精度 | ±10%+0.1µm |
| 对准精度 | ±0.5µm |
| 产能UPH | 300 (间隙曝光，曝光时间<3秒) |
| 光照不均匀性 | 2.5%，公式100%×（max-min）/（max+min） |
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