●产品兼容性高，兼容8英寸及以下多种产品；
●电驱动掩膜载台，自动对准，兼容10英寸及以下多种尺寸掩膜版；
●长寿命LED光源，光源均匀稳定，可定制多种波段光源组合；
●电驱动产品载台，使用自主知识产权精密调平载台；
●曝光方式可兼容：真空接触式、软接触式、硬接触式、间隙曝光；
●自动视觉精对准系统，兼容各类型对准标记。
| 性能名称 | 技术指标 |
| 曝光光源 | UVLED光源 |
| 分辨率L/S |
间隙式≤5.0µm，软接触式≤3.0µm 硬接触式≤2.0µm，真空接触式≤1.0µm |
| 对准精度 | ±1µm |
| 光源产能 | >360WPH |
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