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光刻装备事业部
显示及激光装备事业部
光刻装备事业部
第三代半导体事业部
多曲面光刻流水线
产品描述
产品参数
功能概述：
特点优势：
●整线生产节拍可达720片/小时；
●LED光源寿命长，光源均匀稳定；
●全闭环系统生产控制，产品实时监控，确保品质无虑。
性能名称
技术指标
分辨率L/S
0.03mm
竖边精度
0.1mm
位置精度
0.2mm
产能
720 WPH
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