● 产品兼容性高，兼容8英寸及以下多种产品；
● 电驱动掩膜载台，自动对准，兼容10英寸及以下多种尺寸掩膜版；
● 长寿命LED光源，光源均匀稳定，可定制多种波段光源组合；
● 电驱动产品载台，使用自主知识产权精密调平载台；
● 曝光方式可兼容：真空接触式、软接触式、硬接触式、间隙曝光；
● 自动视觉精对准系统，兼容各类型对准标记；
● 多种掩膜治具、产品吸盘便捷更换。
| 性能名称 | 技术指标 |
| 加工尺寸 | 兼容8寸及以下产品，可定制更大尺寸 |
| 分辨率L/S |
间隙式≤5.0µm，软接触式≤3.0µm 硬接触式≤2.0µm，真空接触式≤1.0µm |
| 对准精度 | ±1µm |
立即咨询
扫码关注我们
首页
