适用于显示面板Array制程：边缘曝光、打码
● 设备具有集成机械初定位，CCD精定位‘打码功能；可实现大幅面产品的精细字符，二维码激光打码，以及整机配有Vericode、DM Code读码功能。
● 产品交接处安装有离子风棒，接触位置全部采用PEEK/防静电刮蹭。
● 设备选用有EFU空气净化系统，保证设备无尘等级满足10级无尘。
●搭载多激光头，提高效率、节约生产成本、产品质量稳定。
●吸附采用分区域独立控制，保证不同尺寸的产品吸附可靠性。
●大理石平台使用直线电机，运动速度快，定位精度高。
●底座采用方钢支架、安装被隔离器减震器，平台运行稳定。
| 性能名称 | 技术指标 |
| 产品尺寸 | G8.5及以下世代 |
| 光斑大小 | 30μm±10% |
| 打码方式 | 飞行打码 |
| 曝光方式 | 扫描时曝光 |
| 对准精度 | ±30μm |
| 边曝功率 | 最大1200mW/cm2 |
| 边曝精度 | 200μm |
| 产能TT | 42秒 |
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